Align Master
Align Master
전용 Align System 입니다. 단순한 프로그램 이상으로 쉽게 현장 상황(카메라 수, 다양한 모션 스테이지 종류)에
대응 가능하고 현장 시운전 기간을 획기적으로 줄일 수 있도록 표준화/모듈화 하였습니다.
Align Master 적용분야 및 제어 H/W
- · 산업분야는 반도체/전자, LCD/PDP, Mobile Glass 합착 조정 등
정밀 Align을 요구하는 분야모션 - · 스테이지는 XY0, UVW(3축), UVWX(4축) 제어, GigE 카메라 1~4대 제어
Align Master
특징 및 장점
카메라 왜곡 보정
-
· 카메라 설치 시 발생하는 카메라 수직도,
카메라 틸트(회전)량에 대한 보정 가능 -
· 검사 대상의 기준 마크를 이용,
역으로 카메라 설치 정도 측정 가능
렌즈 왜곡 보정
-
· 일반 CCTV 렌즈도 보정 기능을 통하여
렌즈의 왜곡 보정 가능 -
· 카메라 별 렌즈의 배율, 상태가 다른
경우에도 보정 보완 가능
모션 왜곡 보정
-
·
카메라를 이용하여 스테이지의 직진도,
절대 정도 측정하여 보정 정도 높임 -
·
모션 스테이지 및 카메라 취부 파트위
Yaw, Pitch, Rolling 에러량 보완 -
·
제품 로딩 위치, 스테이지의 회전중심변화
여부에 따른 OneShot Align 구현 가능
사용자 편리성
-
·
자체 Auto Tunning 기능을 이용하여
카메라 장착 및 교체 시 사용자가 쉽게
사용할 수 있도록 디자인 됨
Align Master 적용 예
LCD 모듈 초대형
AGING Align 시스템
(5개소/라인)
반도체 전 공정 챔버 내
Glass Masking Align
시스템
UVWX 4축을 이용한
LCD Glass 합착
Align시스템
LCD 이송 및 회전을 위한
XYO Align 제어 시스템
Glass, Wafer Align UVW
3축
개별 Align 및
합착 시스템