VISION SYSTEM

전기/전자/반도체 분야

웨이퍼 Auto Teaching System

  • 3개의 카메라를 이용하여 Wafer Susceptor 안착시 편심정도를 자동으로 티칭 해주는 시스템입니다.
  • 기존 수작업으로 진행하던 프로세스를 자동으로 개선함으로써 작업 편의성과 정확성, 작업속도가 향상됩니다.
  • 고열의 Wafer Chamber에서 이루어지는 작업을 자동화 함으로써 보다 안전한 작업환경 구축이 가능합니다.

글라스 패턴 검사장비

  • 글라스 및 PCB 패턴의 패턴간 치수 및 끊김, 단선을 검사합니다.
  • X/Y 2축 로봇을 사용하여 검사 위치로 이동 및 세팅이 가능하며, 자동으로 설정된 위치에 이동하여 이미지를 촬영합니다.
  • 고정밀 카메라 및 특수 조명을 사용하여 불량 검출 검사를 극대화 하였습니다.

LineScan 및 모션 제어를 이용한 Glass Particle 검사장비

  • LineScan 카메라 및 모션 제어를 통하여, Glass Particle을 검사합니다.
  • 카메라 및 조명의 각도 조절이 가능하며, 제품의 사이즈 변화에도 간단한 설정 변경으로 검사 가능합니다.