VISION SOLUTION

3D System

나노 단위 수준의 고정밀 비접촉 형상 측정을 실현

3D System 개요

  • 3D System은 이미지 촬영 분석의 한계를 넘어 형상, 조도, 두께 등을 고정밀 비접촉 측정합니다.
    나노 단위의 정밀 높이 측정과 Chromatic Confocal Sensor를 이용한 넓은 측정각도에 비경면/경면체까지 모두 측정합니다.
  • 반도체, 자동차, 기계공학, 의료 등 다양한 분야에서 고정밀 3D 측정의 수요는 날로 높아지고 있습니다.
    인라인에 적용 가능한 3D System과 다루기 어려운 상용 프로그램이 아닌 고객의 요청에 맞는 프로그램 Operating이 가능하고, UIO 또한 맞춤 제작하고 있습니다.

3D System 적용 분야

  • 반도체 산업: 웨이퍼 두께 측정, 거칠기(Roughness)와 표면파형(Waviness) 측정, 반도체 구조 및 결함 규명
  • 유리 공업: 용기 유리의 비접촉 벽 두께 측정
  • 소비재 산업: 휴대폰, 태블릿 등의 소비자 전자 제품의 금속, 유리 등 정교한 결합 상태 측정
  • 자동차 산업: 자동차 부품의 표면 상태 및 라인 프로파일 측정
  • 기계 공학재료 표면, 용접 상태, 깊이 등을 측정

3D System 적용 분야

  • 빠른 속도로 라인스캔 측정
  • 빛을 균일/균등하게 조사
  • 교환 가능한 광학 프로브
  • 프로파일/체적/표면적 측정
  • 거칠기(Roughness)와 표면파형(Waviness) 측정
  • 인라인 검사
  • 간편한 유지보수
  • 비파괴 측정

3D System 적용 사례

반도체 Roughness & Waviness 측정

휴대폰 부품 - 홈 깊이/너비, Burr 측정

자동차 부품 - 라인프로파일 측정 및 분석